VACUUM PROCESSING CHAMBER DEVICE,申请号JP19860224097-传众专利搜索

发明名称	VACUUM PROCESSING CHAMBER DEVICE
摘要
申请公布号	JPS6380454(A)	申请公布日期	1988.04.11
申请号	JP19860224097	申请日期	1986.09.22
申请人	NISSIN ELECTRIC CO LTD	发明人	TATEMICHI JUNICHI
分类号	H01L21/302;H01J37/317;H01L21/265	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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