| 发明名称 |
PROCESS FOR PREPARING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6379787(A) |
申请公布日期 |
1988.04.09 |
| 申请号 |
JP19860224479 |
申请日期 |
1986.09.22 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
IIJIMA KENJI;ABE ATSUSHI |
| 分类号 |
C30B13/02;C30B1/08;C30B13/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B13/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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