发明名称 WAFER STORING AND TRANSFERRING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6379969(A) 申请公布日期 1988.04.09
申请号 JP19870174585 申请日期 1987.07.13
申请人 BOC GROUP INC:THE 发明人 JIYATSUKU EI DEIMOTSUKU;DAAKU PIITAA UESUTENBURUGU
分类号 B65G49/07;C23C14/56;H01L21/677 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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