发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6379367(A) 申请公布日期 1988.04.09
申请号 JP19860223551 申请日期 1986.09.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANBA NOBUO;AKIOKA TAKASHI;ODAKA MASANORI;IKEDA TAKAHIDE
分类号 H01L27/06;H01L21/331;H01L21/8249;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
地址