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发明名称
DEVICE FOR CORRECTING FEED AND ROTATION ERROR IN CONVEYOR FOR ULTRAHIGH VACUUM
摘要
申请公布号
JPS6379965(A)
申请公布日期
1988.04.09
申请号
JP19860224221
申请日期
1986.09.22
申请人
SHINKU GIKEN:KK
发明人
NANBU TOSHIO
分类号
C23C14/54;C23C14/00;C23C14/56;H01L21/677;H01L21/68
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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