发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6379330(A) 申请公布日期 1988.04.09
申请号 JP19860223609 申请日期 1986.09.24
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 UCHIUMI YASUYUKI;SHIRAI MASAYUKI;OKINAGA TAKAYUKI;SAWARA KUNIZO;OTSUKA KANJI
分类号 H01L21/52;H05K3/24;H05K3/34;H05K3/40 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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