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发明名称 SEMICOUNDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6379337(A) 申请公布日期 1988.04.09
申请号 JP19860223592 申请日期 1986.09.24
申请人 HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD;HITACHI LTD 发明人 SATO MASAYUKI;SHINTANI YOSHIO
分类号 H01L21/66;H01L21/60 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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