发明名称 PROCEDE DE FORMATION D'UNE COUCHE ISOLANTE COMPORTANT DU SULFURE, DERIVES SULFURES OBTENUS ET APPAREILLAGE POUR LA MISE EN OEUVRE DU PROCEDE
摘要 <P>LA PRESENTE INVENTION CONCERNE UN PROCEDE DE DEPOT D'UNE COUCHE ISOLANTE COMPORTANT DU SULFURE SUR UN SUBSTRAT CRISTALLIN SEMI-CONDUCTEUR D'ORIENTATION PARTICULIERE, EN PARTICULIER EN VUE DE CREER UNE STRUCTURE MIS, CARACTERISE EN CE QUE L'ON SOUMET LEDIT SUBSTRAT CRISTALLIN SEMI-CONDUCTEUR A UNE DECHARGE ELECTROLUMINESCENTE DANS UNE ATMOSPHERE GAZEUSE CONTENANT AU MOINS UN DERIVE GAZEUX DU SOUFRE.</P><P>ELLE CONCERNE EGALEMENT LES DERIVES OBTENUS ET L'APPAREILLAGE NECESSAIRE POUR LA MISE EN OEUVRE DU PROCEDE.</P>
申请公布号 FR2604826(A1) 申请公布日期 1988.04.08
申请号 FR19860013883 申请日期 1986.10.06
申请人 ETAT FRANCAIS CNET;CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE 发明人 PIERRE DIMITRIOU;GEORGES POST;LOUIS COT;JEAN DURAND;MICHEL GENDRY
分类号 H01L21/28;H01L21/314;H01L29/51;(IPC1-7):H01L21/94;H01L21/203;H01L29/20 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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