VAPOR DEPOSITED FILM FORMING DEVICE,申请号JP19860219047-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	VAPOR DEPOSITED FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号	JPS6376864(A)	申请公布日期	1988.04.07
申请号	JP19860219047	申请日期	1986.09.17
申请人	SUMITOMO ELECTRIC IND LTD	发明人	SEMURA SHIGERU
分类号	H01L21/285;C23C14/30	主分类号	H01L21/285
代理机构		代理人
主权项
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