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发明名称 VAPOR GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPS6376875(A) 申请公布日期 1988.04.07
申请号 JP19860219219 申请日期 1986.09.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OBA TAKAYUKI
分类号 H01L21/285;C23C16/14;H01L21/28;H01L21/3205 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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