发明名称 HEAT TREATMENT OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6377124(A) 申请公布日期 1988.04.07
申请号 JP19860220897 申请日期 1986.09.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ONISHI TOYOKAZU
分类号 H01L21/26;H01L21/265;H01L21/324 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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