发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6376889(A) 申请公布日期 1988.04.07
申请号 JP19860219318 申请日期 1986.09.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAMIMURA TAKASHI
分类号 C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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