发明名称 METHOD FOR RELIEVING INTERNAL STRESS OF FILM
摘要
申请公布号 JPS6376872(A) 申请公布日期 1988.04.07
申请号 JP19860217914 申请日期 1986.09.18
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;HOYA CORP 发明人 KANAYAMA TOSHIHIKO;SUGAWARA MINORU
分类号 C23C14/48 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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