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经营范围
发明名称
X-RAY MASK
摘要
申请公布号
JPS6375700(A)
申请公布日期
1988.04.06
申请号
JP19860219781
申请日期
1986.09.19
申请人
FUJITSU LTD
发明人
YAMADA MASAO;NAKAISHI MASAFUMI
分类号
G21K3/00;G03F1/22;H01L21/027
主分类号
G21K3/00
代理机构
代理人
主权项
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