发明名称 |
Pressure-measuring element. |
摘要 |
Ein Drucksensorelement mit einer Drucksensor-Meßzelle (3) soll geringe Verluste für den Fall ermöglichen, daß unzulässige Abweichungen des Drucksensors vom gewünschten Idealverhalten erst nach Montage des Drucksensor-Chips gemessen werden können. Die Drucksensor-Meßzelle (3) ist elektrisch isoliert auf einem Träger (1, 11, 41, 51) aufgebracht.
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申请公布号 |
EP0262366(A1) |
申请公布日期 |
1988.04.06 |
申请号 |
EP19870111900 |
申请日期 |
1987.08.17 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
HAGEN, HEINZ, DIPL.-ING.;BECKER, KLAUS, DIPL.-ING. |
分类号 |
G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/06 |
主分类号 |
G01L9/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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