| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0149683(A4) |
申请公布日期 |
1988.04.06 |
| 申请号 |
EP19840902820 |
申请日期 |
1984.07.19 |
| 申请人 |
SONY CORPORATION |
发明人 |
KAYANUMA, AKIO;NAKAMURA, MINORU;ASANO, KATSUAKI |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/306;H01L21/3213;H01L21/3215;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/28;H01L21/72 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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