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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6376423(A) 申请公布日期 1988.04.06
申请号 JP19860221394 申请日期 1986.09.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MIZUNO TOMOHISA;SAWADA SHIZUO
分类号 H01L21/265;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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