发明名称 |
PLASMA TREATMENT EQUIPMENT |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS6376434(A) |
申请公布日期 |
1988.04.06 |
申请号 |
JP19860219475 |
申请日期 |
1986.09.19 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NAKAZATO NORIO;NAKATSUI FUJITSUGU;WATANABE SEIICHI;MURAMATSU KIMIO |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|