发明名称 PRETREATMENT OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6376333(A) 申请公布日期 1988.04.06
申请号 JP19860220409 申请日期 1986.09.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGINO SHIGEYUKI
分类号 H01L21/304;B08B3/08 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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