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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0799236(A) 申请公布日期 1995.04.11
申请号 JP19930239982 申请日期 1993.09.27
申请人 SONY CORP 发明人 ONO KEIICHI
分类号 H01L21/316;G11C11/401;H01L21/76;H01L21/82;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/088;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/823;H01L21/824 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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