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发明名称 INTERFEROMETRIC MEASUREMENT METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0215660(A3) 申请公布日期 1988.04.06
申请号 EP19860307085 申请日期 1986.09.15
申请人 NATIONAL RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION 发明人 MONTGOMERY, PAUL CHRISTOPHER;TYRER, JOHN RAYMOND
分类号 G01H9/00;(IPC1-7):G01H9/00 主分类号 G01H9/00
代理机构 代理人
主权项
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