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经营范围
发明名称
PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号
JPS6376438(A)
申请公布日期
1988.04.06
申请号
JP19860219317
申请日期
1986.09.19
申请人
HITACHI LTD
发明人
KOKADO YUICHI;KITO MAKOTO
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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