发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6376481(A) 申请公布日期 1988.04.06
申请号 JP19860219560 申请日期 1986.09.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 HORIUCHI KATSUTADA;YAMAGUCHI KEN
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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