发明名称 POLISHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6374524(A) 申请公布日期 1988.04.05
申请号 JP19860217063 申请日期 1986.09.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 NOTO KOICHI;KAWAI TSUNEO
分类号 B23H5/00;B23H5/06 主分类号 B23H5/00
代理机构 代理人
主权项
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