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经营范围
发明名称
LASER BEAM IRRADIATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6375536(A)
申请公布日期
1988.04.05
申请号
JP19860220422
申请日期
1986.09.18
申请人
FUJITSU LTD
发明人
SASAKI NOBUO
分类号
H01L21/268;G01N21/27;H01L21/66;H01S3/00;H01S3/101
主分类号
H01L21/268
代理机构
代理人
主权项
地址
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