发明名称 LASER BEAM IRRADIATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6375536(A) 申请公布日期 1988.04.05
申请号 JP19860220422 申请日期 1986.09.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SASAKI NOBUO
分类号 H01L21/268;G01N21/27;H01L21/66;H01S3/00;H01S3/101 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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