PRODUCTION OF THIN FILM OF SEMICONDUCTOR,申请号JP19860219545-传众专利搜索

发明名称	PRODUCTION OF THIN FILM OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号	JPS6374994(A)	申请公布日期	1988.04.05
申请号	JP19860219545	申请日期	1986.09.19
申请人	HITACHI LTD	发明人	HIRUMA TAKEYUKI;ONO YUICHI
分类号	C30B25/12;C30B25/14;H01L21/205	主分类号	C30B25/12
代理机构		代理人
主权项
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