发明名称 GROWING METHOD OF COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6374998(A) 申请公布日期 1988.04.05
申请号 JP19860221292 申请日期 1986.09.18
申请人 NEC CORP 发明人 SHIMURA AKIO
分类号 C30B27/02;H01L21/18 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
主权项
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