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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6311729(Y2)
申请公布日期
1988.04.05
申请号
JP19830162444U
申请日期
1983.10.19
申请人
发明人
分类号
H01L21/673;B65D85/38;B65D85/57;B65D85/86;G03F1/00;G03F1/66;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/68
主分类号
H01L21/673
代理机构
代理人
主权项
地址
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