发明名称
摘要
申请公布号 JPS6311729(Y2) 申请公布日期 1988.04.05
申请号 JP19830162444U 申请日期 1983.10.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/673;B65D85/38;B65D85/57;B65D85/86;G03F1/00;G03F1/66;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/68 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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