发明名称 APPARATUS FOR LIQUID PHASE EPITAXY
摘要
申请公布号 JPS6373619(A) 申请公布日期 1988.04.04
申请号 JP19860218324 申请日期 1986.09.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAJIMA KAZUO
分类号 H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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