发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6373539(A) 申请公布日期 1988.04.04
申请号 JP19860218382 申请日期 1986.09.16
申请人 NEC CORP 发明人 SAITO MANZO
分类号 H01L21/31;H01L21/768 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
地址