| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR SCANNING LASER BEAM FOR INSPECTION OF SEMICONDUCTOR WAFER SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6373635(A) |
申请公布日期 |
1988.04.04 |
| 申请号 |
JP19860218434 |
申请日期 |
1986.09.17 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MIYOSHI MOTOSUKE;OKUMURA KATSUYA;OGAWA SHIGERU |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/956 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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