发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6373668(A) 申请公布日期 1988.04.04
申请号 JP19860220471 申请日期 1986.09.17
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 BEPPU MAKIO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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