| 发明名称 |
PRODUCTION OF DIAMOND-LIKE CARBON THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08259388(A) |
申请公布日期 |
1996.10.08 |
| 申请号 |
JP19950084472 |
申请日期 |
1995.03.17 |
| 申请人 |
TOYOTA MOTOR CORP;HANABUSA MITSUGI |
发明人 |
NAKAMURA NAOKI;HASEGAWA HIROSHI;HANABUSA MITSUGI |
| 分类号 |
C30B23/08;C23C14/06;C30B29/04;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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