| 发明名称 |
LIQUID-CONTACT DEVICE FOR LIQUID PHASE EPITAXY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08259383(A) |
申请公布日期 |
1996.10.08 |
| 申请号 |
JP19950057273 |
申请日期 |
1995.03.16 |
| 申请人 |
MITSUBISHI GAS CHEM CO INC |
发明人 |
SHIRAI KAZUSHI;TAKEDA NORIO |
| 分类号 |
C30B19/06;C30B19/10;C30B29/28;(IPC1-7):C30B19/06 |
主分类号 |
C30B19/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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