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发明名称 SELECTIVE DEPOSITION METHOD FOR METAL
摘要
申请公布号 JPS6372880(A) 申请公布日期 1988.04.02
申请号 JP19860216255 申请日期 1986.09.13
申请人 HARA TORU 发明人 HARA TORU
分类号 H01L21/285;C23C16/04;C23C16/14;C23C16/46;C23C16/48 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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