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发明名称 SEMICONDUCTOR SENSOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6373113(A) 申请公布日期 1988.04.02
申请号 JP19860218353 申请日期 1986.09.17
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 HAYASHI YUTAKA;YOSHIHARA HIROAKI
分类号 G01D5/14;G01R33/07;H01L43/06 主分类号 G01D5/14
代理机构 代理人
主权项
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