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发明名称 MANUFACTUPE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6372131(A) 申请公布日期 1988.04.01
申请号 JP19860215989 申请日期 1986.09.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WATABE TAKUYA;INOUE SHINICHI
分类号 H01L21/318;H01L21/31 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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