发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6372159(A) 申请公布日期 1988.04.01
申请号 JP19860215773 申请日期 1986.09.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAGUCHI SHINICHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
地址