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发明名称 MEHRSTOFFLEGIERUNG FUER TARGETS VON KATHODENZERSTAEUBUNGSANLAGEN UND DEREN VERWENDUNG
摘要
申请公布号 DE3631830(A1) 申请公布日期 1988.03.31
申请号 DE19863631830 申请日期 1986.09.19
申请人 DEMETRON GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-WERKSTOFFE MBH;LEYBOLD-HERAEUS GMBH 发明人 HOFMANN,DIETER,DIPL.-ING.;MUENZ,WOLF-DIETER,DR.;HORST,DR.-ING.DR. SIEWERT,G.A.;DIETRICH,HORST
分类号 C22C5/02;H01J37/34;(IPC1-7):C22C5/02 主分类号 C22C5/02
代理机构 代理人
主权项
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