发明名称 VERFAHREN ZUM ZIEHEN VON EINKRISTALLEN
摘要
申请公布号 DE3732250(A1) 申请公布日期 1988.03.31
申请号 DE19873732250 申请日期 1987.09.24
申请人 SONY CORP. 发明人 OHKUBO,YASUNORI;SUZUKI,TOSHIHIKO;IZAWA,NOBUYUKI
分类号 C30B15/22;C30B15/30;H01L21/18;(IPC1-7):C30B15/22;H01L21/208 主分类号 C30B15/22
代理机构 代理人
主权项
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