发明名称 PHOTORESIST
摘要
申请公布号 IL84255(D0) 申请公布日期 1988.03.31
申请号 IL19870084255 申请日期 1987.10.23
申请人 GALRAM TECHNOLOGY INDUSTRIES LTD. 发明人
分类号 B23Q7/00;B23Q7/04;B24B41/00;G03F7/42;H01L21/311;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 B23Q7/00
代理机构 代理人
主权项
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