发明名称 PRODUCTION OF THIN-FILM SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6370414(A) 申请公布日期 1988.03.30
申请号 JP19860214905 申请日期 1986.09.11
申请人 SONY CORP 发明人 KANO YASUO;USUI SETSUO
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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