发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6370513(A) 申请公布日期 1988.03.30
申请号 JP19860215387 申请日期 1986.09.12
申请人 RICOH CO LTD 发明人 AKAHORI TAKASHI;KIMURA YUJI;OOTA HIDEKAZU;OKADA KAZUHIRO;YAMAZAKI HIROSHI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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