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发明名称 DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6369987(A) 申请公布日期 1988.03.30
申请号 JP19860214316 申请日期 1986.09.11
申请人 NIPPON SHEET GLASS CO LTD 发明人 TAGAMI TAKASHI
分类号 C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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