| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN CRYSTALLINE SILICIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6369974(A) |
申请公布日期 |
1988.03.30 |
| 申请号 |
JP19860214608 |
申请日期 |
1986.09.11 |
| 申请人 |
MEIDENSHA ELECTRIC MFG CO LTD |
发明人 |
HABA HOKI |
| 分类号 |
H01L21/28;C23C16/42;C23C16/44;C23C16/50;H01L39/24 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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