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发明名称 FORMATION OF TANTALUM FILM FOR X-RAY MASK
摘要
申请公布号 JPS6369964(A) 申请公布日期 1988.03.30
申请号 JP19860210738 申请日期 1986.09.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMADA MASAO;TAKEUCHI TORU
分类号 C23C14/14;C23C14/34;C23C14/44 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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