发明名称 ELECTRO-MAGNETIC ALIGNMENT ASSEMBLIES
摘要
申请公布号 EP0130357(B1) 申请公布日期 1988.03.30
申请号 EP19840106001 申请日期 1984.05.25
申请人 THE PERKIN-ELMER CORPORATION 发明人 TROST, DAVID
分类号 H01L21/68;H02K41/02;H01L21/30;G03F7/20;G03F9/00;G05D3/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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