发明名称 |
ELECTRO-MAGNETIC ALIGNMENT ASSEMBLIES |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0130357(B1) |
申请公布日期 |
1988.03.30 |
申请号 |
EP19840106001 |
申请日期 |
1984.05.25 |
申请人 |
THE PERKIN-ELMER CORPORATION |
发明人 |
TROST, DAVID |
分类号 |
H01L21/68;H02K41/02;H01L21/30;G03F7/20;G03F9/00;G05D3/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03B41/00 |
主分类号 |
H01L21/68 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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