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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING SMALL DIMENSIONS
摘要
申请公布号 EP0138978(B1) 申请公布日期 1988.03.30
申请号 EP19840901561 申请日期 1984.04.03
申请人 NCR CORPORATION 发明人 CHIAO, SAMUEL, YUE
分类号 H01L21/3205;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/321;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8236;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/00 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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