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发明名称 FILM GROWTH DEVICE IN VAPOR PHASE
摘要
申请公布号 JPS6369975(A) 申请公布日期 1988.03.30
申请号 JP19860214453 申请日期 1986.09.10
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIKAWA MASAOKI
分类号 C30B25/08;C23C16/40;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C30B25/08
代理机构 代理人
主权项
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