| 发明名称 |
THIN FILM FORMING DEVICE UTILIZING LASER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6369979(A) |
申请公布日期 |
1988.03.30 |
| 申请号 |
JP19860214765 |
申请日期 |
1986.09.11 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
MURAKAMI SHINGO;YOSHINO YOICHI;YAMANE TAKESHI |
| 分类号 |
H01L21/285;C23C16/04;C23C16/48;C23C16/52;H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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